半導(dǎo)體生產(chǎn)是一個高科技產(chǎn)業(yè)，但是在生產(chǎn)過程中也會產(chǎn)生大量的廢氣，這些廢氣對環(huán)境和人體健康都有一定的影響，因此必須進(jìn)行處理。那么，在廢氣處理工藝中，哪種方式呢？本文將為您詳細(xì)介紹。

一、活性炭吸附法

活性炭吸附法是一種常見的廢氣處理方式，該方法適用于處理低濃度的有機(jī)廢氣。廢氣通過活性炭床層時，有機(jī)物質(zhì)被吸附在活性炭表面，從而達(dá)到凈化的目的。該方法具有投資成本低、操作簡單等優(yōu)點，因此在半導(dǎo)體生產(chǎn)中被廣泛應(yīng)用。

二、等離子體處理法

等離子體處理法是一種高科技的廢氣處理方式，該方法適用于處理高濃度的有機(jī)廢氣。廢氣通過等離子體反應(yīng)器時，通過高能電子的撞擊使有機(jī)物質(zhì)分解成小分子，再通過催化劑的作用進(jìn)一步分解，終達(dá)到凈化的目的。該方法具有凈化效率高、處理能力強(qiáng)等優(yōu)點，因此在高端半導(dǎo)體生產(chǎn)中得到廣泛應(yīng)用。

綜上所述，活性炭吸附法和等離子體處理法是半導(dǎo)體生產(chǎn)廢氣處理中的兩種方式。在選擇時應(yīng)根據(jù)實際情況進(jìn)行選擇，以達(dá)到的凈化效果。